X線マイクロアナライザーは、走査型電子顕微鏡とX線分光元素分析の機能を備えた分析装置であり、固体表面の数ミクロン領域から数センチサイズまでの領域を組成分析するのに有効である。
 X線マイクロアナライザーの測定原理や特徴を理解した上で、電子顕微鏡観察、定性分析、定量分析の測定技術を習得する。