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Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）は固体表面にＸ線を照射して励起・放出される光電子のエネルギーを分析することにより、様々な固体材料の表面化学状態分析を容易に行うことができる。ＸＰＳの原理を学び、装置の操作方法およびスペクトル解析法を習得する。