コース情報

現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術である「ドライプロセス」について講義する。半導体、MEMS（マイクロマシン）などの加工技術の基礎と、特長、応用について学び、グリーンエネルギー変換電子デバイスの実際の製作プロセスの理論面に関する基礎知識を習得する。